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氣體質量流量控制器

產品時間:2021-05-18

簡要描述:

Aera流量計 氣體質量流量控制器
FC-DR980C
◆ 流量可覆蓋10sccm-30slm包含腐蝕性氣體(相對于N2)
◆ 快速反應
◆ 數字和模擬通訊控制模式,橡膠或金屬密封
◆ 高可靠性和實用性

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Aera流量計 氣體質量流量控制器

FC-DR980C  FC-DR981C 

Aera創建于美國,是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,擁有研發及運營團隊,掌握行業先進的流體測量及控制技術,專注于高科技工業領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。

氣體質量流量控制器性能:

數字和模擬兩用型控制

快速的響應 

高精度

高度的可靠性和穩定性

易于整合——標準連接器和尺寸

 

  • 規格
  • FC-DR980C
  • Full Scale Range (N2 Eqv)
  • 單氣體2-5000sccm
  • Control Valve Type 閥門類型
  • 常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)
  • Fitting
    接頭
  • 1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
    IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)
  • Seals 密封
  • 橡膠 Viton金屬
  • Response Time 響應時間
  • ≤1Sec(超過滿量程10%)
  • Accuracy
    精度
  • 25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)
    2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)
  • Linearity 線性度
  • ≤ 滿量程的±0.5%
  • Repeatability 重復性
  • ≤ 滿量程的±0.15%
  • Differential Pressure 壓差
  • 7 - 40psi
  • Leak lntegrity 漏率
  • Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
  • Control Range 控制范圍
  • 滿量程的2-100%
  • Max Operating Pressure 高操作壓力
  • 70psi
  • Proof Pressure 承受壓力
  • Z大值140psi
  • Communication Type 通訊模式
  • 模擬0-5V / RS485
  • Input Power
    輸入功率
  • +15VDC ±2% at 100mA
    -15VDC ±2% at 200mA
  • Command Signal 輸入模擬信號
  • 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數字信號 0-100%
  • Output Signal 輸出模擬信號
  • 模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數字信號 0-100%
  • Power Consumption 功耗
  • 4.5W
  • Temperature Range 溫度范圍
  • 5-45 Deg C
  • Materials 材料
  • 316LSS,316SS,PTFE
  • Weight 重量
  • 1.2kg

 

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