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質量式氣體流量計

產品時間:2021-02-18

簡要描述:

質量式氣體流量計
FC-R7700CD 氣體質量流量控制器
◆ 流量可覆蓋10sccm-200slm非腐蝕性氣體(相對于N2)
◆ 快速反應
◆ 模擬通訊控制模式,橡膠密封
◆ 高可靠性和實用性

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質量式氣體流量計

Aera流量計 Aera 氣體質量流量控制器

FC-R7700CD  FC-R7710CD FC-R7720CD

Aera創建于美國,是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,擁有研發及運營團隊,掌握行業先進的流體測量及控制技術,專注于高科技工業領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。

質量式氣體流量計 性能:

快速的響應,響應時間<2秒.  

精度≤1%FS   線性度小于等于0.5%FS  重復性≤0.2%FS

易于整合——標準連接器和尺寸

高度的可靠性和穩定性

特點:

耐腐蝕性,流量范圍從10sccm-200slm

VCR® 及 Swagelok®共容性連接

橡膠密封

常關或常開的電磁控制閥

泄漏率1 x 10-7 atm-cc/sec of He

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